194-01 | Эксимерный лазерный комплекс "ЭКЛАЗ"

Главная страница        >> Каталог технологий        >> Лазерные и оптические технологии и оборудование
 
 
 

Электроразрядные эксимерные лазерные комплексы "ЭКЛАЗ" применяются в лазерных микротехнологиях:

  • производстве изделий микроэлектроники
  • маркировке различных материалов

Лазерные комплексы могут использоваться в медицине, в установках для контроля состояния окружающей среды и при проведении научных исследований.

В состав комплекса входят:

  • излучатель
  • импульсное зарядное устройство
  • газоочиститель
  • форвакуумный пост

Основные технические характеристики

Длина волны излучения   -   193 нм   -   248 нм
Максимальная энергия в импульсе (Еимп)   -   100 мДж   -   300 мДж
Максимальная частота следования импульсов     -     100Гц
Максимальная средняя мощность   -   5 Вт   -   20 Вт
Расходимость излучения по уровню 0,5 Еимп     -     0,2 х 0,4 мрад
Максимальная потребляемая мощность     -     3 кВт
Ресурс     -     1 х 108 имп


 
 
Главная страница        >> Каталог технологий        >> Лазерные и оптические технологии и оборудование

Наверх